光子型探测器（photon detector）是利用外光电效应或内光电效应制成的辐射探测器，也称光电型探测器。探测器中的电子直接吸收光子的能量，使运动状态发生变化而产生电信号，常用于探测红外辐射和可见光。光子型探测器（photon detector）属于真空电子器件，对密封性的要求极高，因此需要检漏。
光探测器的检漏方法可归纳入电子元件类检测方法，即“背压法”。由于电子元件体积小，且无法抽真空或直接充入氦气，而氦检漏又离不开氦气作为示踪气体。这时需要通过一种间接的办法“渗入”氦气，具体做法如下。
1.将被检电子元件放入保压罐，压力和时间根据漏率大小设定
2.取出电子元件，使用空气或氮气吹扫表面氦气
3.将电子元件放入真空测试罐，如上图，测试罐连接氦质谱检漏仪
4.启动氦质谱检漏仪，开始检测
客户在对比了 Varian by Agilent 同类型氦质谱检漏仪之后，终从抽速、检测精度和市场口碑等方面确定了上海伯东氦质谱检漏仪 ASM 340。