德国普发pfeiffer 分子泵在ITO镀膜生产线上的应用
ITO (Indium Tin Oxide；銦錫氧化物)结晶具有体心立方铁锰矿结构，是一种重掺杂、高简并的宽禁带型半导体材料，具有优良的导电性、可见光透过率以及红外反射率，而且还具有高硬度、耐磨性、耐化学腐蚀特性。因此广泛应用于平板显示器（FPD）和太阳能电池。通常制备ITO薄膜的方法有溶胶凝胶法、磁控溅射法、脉总激光沉积和电子束蒸发等。
ITO 镀膜过程必须在干净清洁的真空系统中，上海伯东销售的德国普发 pfeiffer Hipace 涡轮分子泵清洁无油，极限真空度可达10-11mbar，转子速率可达90000rpm，广泛应用于此行业。
德国普发 pfeiffer 涡轮分子泵优点：
- pfeiffer 分子泵坚固耐用的设计，实践验证的轴承系统提供了产品的可靠性
- pfeiffer 分子泵结构紧凑，占用空间小
- 高气流量，高抽速;集成，高效的冷却系统
- pfeiffer 分子泵可以实现任意位置安装
- 保护级别IP 54，非常适合工业领域应用的分子泵类型
- 可以提供适合腐蚀气体的分子泵型号
- 半导体S2-和ul-认证
- 完整的配件系列扩展了分子泵安装的各种可能性
- 我们给您提供更长的分子泵维修间隔
- 我们可以提供现场更换分子泵轴承
客户案例：
深圳某高科为热门的苹果公司提供手机显示屏，pfeiffer分子泵因其优秀性能应用在某高科的ITO生产线中，伯东公司作为德国普发pfeiffer真空设备中国区销售公司，提供完善的售前，售后服务并得到客户一致的好评。
