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上海伯东pfeiffer 四极杆质谱仪 PrismaPlusTM 新的高性能质谱仪
1.设计紧凑
PrismaPlusTM是新型定量定性气体分析和检漏的质谱仪。该四极质谱仪积累了丰富的应用经验，高灵敏度，高稳定性和智慧化操作的结合是 PrismaPlusTM 四极质谱仪新的优点。在适用中客户将感受到它坚固，紧凑的设计和简单的系统集成，并从中受益。
2.应用范围广阔
通过可选择质量数范围，检测器、离子源和介面介面等，该四极质谱仪可以应用于多个领域，例如：工业和分析领域、研发、检漏、半导体生产以及镀膜工艺等。PrismaPlusTM 四极质谱仪是从品质保证，残气分析直至综合的定量分析工作等应用领域的方案。
3.检测速度快，灵敏度高
PrismaPlusTM 四极质谱仪可 以在三个不同的质量数范围（1-100，1-200，1-300 amu）内，下至检测极限1*10-14 mbar 情况下给出精确的检测结果。在真空系统中，配合有效的法拉, 第和电子倍增检测仪，即使很低程度的污染也可以被快速地识别出来。除显示可选择的分压外，直接增加一个压力量规，PrismaPlusTM 四极质谱仪就可以作为一个精确的全压监控器使用。
4.智慧化的软体
Quadera 软体不仅操作简单，它还提供了捕获和观察所有测试资料以及参数记录的易读平台。结合多种可供选择的介面介面，例如乙太网，数位式和类比式输入输出，可以方便地集成到各种系统中去。轻点滑鼠就可以启动预设的功能。
PrismaPlusTM 四极质谱仪产品优势：
1. 模组化设计提供了产品的适应性
2. 结构紧凑，性能出众
3. 多种介面介面，系统集成简单
4. 可通过乙太网网路化
5. 测试过程快速稳定，解析度高
6. 分析器以及电子的可替换性
7. 双灯丝设计保证的可靠性
8. 的可检测分压达1 x 10E-14 mbar
9. Quadera®软体操作直观
PrismaPlusTM 四极质谱仪应用领域：
PrismaPlusTM 四极质谱仪非常适合于检漏，残气分析以及综合定量分析：
1. 冶金 2. 真空炉 3. 加速器 4. 溅射工艺分析 5. 半导体生产 6. 玻璃镀膜 7. 研发 8. 真空工艺
PPrismaPlusTM 四极质谱仪产品规格：
|
PrismaPlusTM型号 |
QMG 220 F1 |
QMG 220 F2 |
QMG 220 F3 |
|
|
质量数范围 |
amu |
1-100 |
1-200 |
1-300 |
|
四极杆直径／长度 |
mm |
6/100 |
6/100 |
6/100 |
|
检测极限， |
mbar |
1.10-12 |
2.10-12 |
4.10-12 |
|
对Ar的灵敏度 |
A/mbar |
1.10-3 |
6.10-4 |
3.10-4 |
|
工作压力， |
mbar |
1.10-4 |
1.10-4 |
1.10-4 |
|
对临近质量数的影响 |
ppm |
<10 |
<20 |
<50 |
|
工作温度／分析器 |
。C |
150 |
150 |
150 |
|
连接法兰 |
DN 40 CF-F |
DN 40 CF-F |
DN 40 CF-F |
|
|
重量 |
kg |
2.4 |
2.4 |
2.4 |
PrismaPlusTM 四极质谱仪产品规格
|
PrismaPlusTM型号 |
QMG 220 M1 |
QMG 220 M2 |
QMG 220 M3 |
||
|
质量数范围 |
amu |
|
1-100 |
1-200 |
1-300 |
|
四极杆直径／长度 |
mm |
|
6/100 |
6/100 |
6/100 |
|
检测极限， |
mbar |
法拉第 |
5.10-12 |
1.10-11 |
2.10-11 |
|
|
|
C-SEM |
1.10-14 |
2.10-14 |
4.10-14 |
|
对Ar的灵敏度 |
A/mbar |
法拉第 |
5.10-4 |
3.10-4 |
1.5.10-4 |
|
|
|
C-SEM |
200 |
200 |
100 |
|
工作压力， |
mbar |
法拉第 |
1.10-4 |
1.10-4 |
1.10-4 |
|
|
|
C-SEM |
1.10-5 |
1.10-5 |
1.10-5 |
|
对临近质量数的影响 |
ppm |
|
<10 |
<20 |
<50 |
|
工作温度／分析器 |
。C |
|
150 |
150 |
150 |
|
连接法兰 |
|
|
DN 40 CF-F |
DN 40 CF-F |
DN 40 CF-F |
|
重量 |
kg |
|
3.8 |
3.8 |
3.8 |
PrismaPlusTM 四极质谱仪安装应用图:
PrismaPlusTM 四极质谱仪尺寸及配件：
上海伯东主营产品：德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵，干式真空泵，罗茨真空泵，旋片真空泵；应用于各种真空环境下的真空计，氦质谱检漏仪，质谱分析仪以及美国考夫曼公司 KRI 离子源 离子枪 霍尔源，美国 HVA 真空阀门，Polycold 冷冻机，离子刻蚀机等。
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