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上海伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 1200-2300，抽速范围 1200-2300 l/s 的全系列紧凑型复合轴承涡轮分子泵, HiPace 1200 - 2300系列涡轮分子泵可以倒置安装。对小分子量气体(H2, He)和大分子量气体(Ar, CF4)都有很高的抽速。
分子泵 Hipace 1200-2300 l/s 产品优点：
1.抽速从1200-2300l/s的全系列产品
2.安装角度可选0°-90°和90°-180°
3.分子泵有抗腐蚀性气体型号可选(C型号)
4.带节流阀和阀门的集成净化气体系统
5.电压范围90 - 265 V
6.获得SEMI S2, UL, CSA和 TÜV认证
7.防护等级IP54符合工业环境应用要求
8.适用于各种严苛工艺如刻蚀，溅镀，分子泵耐粉尘
9.集成分子泵控制器 TC 1200，可直接连接一般电源
分子泵 Hipace 1200-2300 l/s 技术参数：
|
分子泵型号 |
分子泵连接尺寸 DN |
抽速 l/s |
压缩比 |
启动压强hPa |
极限压力 |
全转速气体流量hPa l/s |
启动时间 |
重量 |
|||
|
进气口 |
排气口 |
氮气 |
氦气He |
氢气 H2 |
氮气 |
氮气N2 |
hPa |
氮气N2 |
min |
kg |
|
|
HiPace® 1200 |
200 |
40 |
1,250 |
1,300 |
1,100 |
> 1X108 |
2 |
< 1X10–7 |
20 |
2.5 |
27 – 40 |
|
HiPace® 1500 |
250 |
40 |
1,400 |
1,350 |
1,150 |
> 1X108 |
2 |
< 1X10–7 |
20 |
2.5 |
29 – 41 |
|
HiPace® 1800 |
200 |
40 |
1,450 |
1,650 |
1,700 |
> 1X108 |
1.8 |
< 1X10–7 |
20 |
4 |
33 – 34 |
|
HiPace® 2300 |
250 |
40 |
1,900 |
2,000 |
1,850 |
> 1X108 |
1.8 |
< 1X10–7 |
20 |
4 |
34 – 47 |
C = 抗腐蚀性气体
T = 温控管理
分子泵 Hipace 1200-2300 l/s 应用领域：
1. 分析仪器 2. 半导体 3. 镀膜 4. 工业 5. 研发
分子泵HiPace™ 1200, DN 200 ISO-K
分子泵HiPace™ 1200, DN 200 ISO-F
分子泵HiPace™ 1200, DN 200 CF-F
分子泵HiPace™ 1200, pumping speed
分子泵HiPace™ 1500, DN 250 ISO-K
分子泵HiPace™ 1500, DN 200 ISO-F
分子泵HiPace™ 1500, DN 200 CF-F
分子泵HiPace™ 1500, pumping speed
分子泵HiPace™ 1800, DN 250 ISO-K
分子泵HiPace™ 1800, DN 250 ISO-F
分子泵HiPace™ 1800, pumping speed
分子泵HiPace™ 2300, DN 250 ISO-K
分子泵HiPace™ 2300, DN 250 ISO-F
分子泵HiPace™ 2300, DN 250 CF-F
分子泵HiPace™ 2300, pumping speed,
